Von Prof. Dr. Gerhard G ö t z und Dr. Karl-Heinz H ei n i a
02.03.1985 /
Wissenschaften
# Weitere Miniaturisierung elektronischer Bauelemente • Grundlagenforschung für eine ausgereifte Technologie
Für die Ausheilung von Strahlenschäden in ionenimplantierten Halbleitern können neben Lasern aber auch Hochdrucklampen, Elektronen- und lonenimpulse eingesetzt werden. Entscheidend ist der Temperatur-...
Artikellänge: rund 235 Wörter
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