13.03.1982 /
Wissenschaften
Wtravfetettstrahlen belichten Fotolack
Das Wesen dieses Verfahrens besteht darin, daß die Oberfläche des zu strukturierenden Materials, in der Regel eine Silizium- Einkristallscheibe mit einem Durchmesser von 75 bis 100 mm, mit einer hauch...
Artikellänge: rund 158 Wörter
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