13.05.1989 /
Wissenschaften
Meßtechnik für die Mikroelektronik
Ein Quadropolmassenspektrom«- ter wurde im Zentralinstitut für Isotopen- und Strahlungsforschung Leipzig der Akademie dar Wissenschaften der DDR geschaffen. Das QMS 200 genannte Meßgerät, das Dr. Bern...
Artikellänge: rund 95 Wörter
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