13.04.1985 /
Wissenschaften
KcHim verstellbar» Intearationsdicht«
Wenn es künftig gelingt, die noch ungelösten Probleme der Justierung von Wafer und Maske mit einer Genauigkeit von 0,01 Mikrometern zu bewältigen, lassen sich Strukturelemente mit einer «relt^vöä^.l: ...
Artikellänge: rund 152 Wörter
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